气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器

Eddy current damping zero-stiffness vibration isolator for air floatation ball bearing angle decoupling

Abstract

气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑,通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性,上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦,音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性,可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能,从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

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