抛光液分散助剂、含有该分散助剂的抛光液及制备方法和应用

Polishing liquid dispersion assistant, polishing liquid containing dispersion assistant, and preparation method and application of polishing liquid

Abstract

本发明涉及表面抛光,尤其是一种抛光液分散助剂,同时包括含有该分散助剂的抛光液混合物及其制备方法和应用。一种抛光液分散助剂,其特征在于,其是如下式(1)表示的化合物,本发明同时提供含有该抛光液分散助剂的抛光液及其制备方法,该抛光液混合物通过如下方法制得:将1~20重量份抛光液分散助剂、1CT25重量份无机抛光粉、60~85重量份的有机溶剂加入高速搅拌机中搅拌2~5小时制得,其中高速搅拌机桨叶采用中间带孔的上下翻齿型分散盘。本发明抛光液分散助剂具有极低的粘度、高铺展性、良好的增溶性,通过提供该分散助剂可以有效提高抛光液保存周期和降低被抛光物表面刮伤比率及表面粗糙度,同时保持长期有效的抛光效果。【式1】

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